二氧化硅是芯片制造中最基础且关键的绝缘材料。本文介绍其常见沉积方法与应用场景，解析SiO₂在栅极氧化、侧墙注入、STI隔离等核心工艺中的重要作用。
2025-04-10 14:36
1. 引言 镀膜技术是一种在基材表面形成薄膜的技术，广泛应用于光学、电子、机械、建筑等领域。二氧化硅作为一种常见的无机材料，因其良好的光学性能、化学稳定性和机械强度，在镀膜技术中得到了广泛应用
2024-09-27 10:10
（Si）、二氧化硅（SiO2）、锗（Ge）等。其中，硅是最为常见和广泛应用的半导体材料之一。 硅是地壳中非常丰富的元素之一，它具有较高的化学稳定性、热稳定性和机械性能，因此硅
2024-02-04 09:46
在集成电路生产过程中，晶圆背面二氧化硅边缘腐蚀现象是一个常见但复杂的问题。每个环节都有可能成为晶圆背面二氧化硅边缘腐蚀的诱因，因此需要在生产中严格控制每个工艺参数，尤其是对边缘区域的处理，以减少这种现象的发生。
2025-07-09 09:43
二氧化硅薄膜实现增透的原因主要涉及以下几个方面： 1. 折射率匹配 折射率特性 ：二氧化硅（SiO₂）的折射率相对较低，这使得它能够作为一层有效的增透膜（或称为减反射膜）。当光线从一种介质进入另一种
2024-09-27 10:22
二氧化碳（carbon dioxide），化学式CO2。是空气中主要成分之一，是常见的温室气体，一种气态化合物，碳与氧反应生成其化学式为CO2，一个二氧化碳分子由两个氧原子与一个碳原子通过共价键构成
2019-06-13 14:43
二氧化碳传感器是对空气中二氧化碳浓度含量的检测，是对人们的生活及身体健康的保证，二氧化碳传感器的使用普遍增加。而我们需要使用二氧化碳传感器首先要安装好，而
2019-09-29 14:23
大气的严重污染让测量气体浓度的技术和仪器不断出现和发展。其中包括化学传感器、陶瓷传感器及各种类型的电化学传感器，以及测量温度、湿度的温湿度记录仪，测量二氧化碳浓度的二氧化碳传感器等等。每种传感器适用于一定的应用领域，今天我们介绍一下
2020-07-07 15:15
本文主要阐述了二氧化碳激光器的原理及它的工作波长。
2019-12-11 10:16
