等离子体工艺是干法清洗应用中的重要部分,随着微电子技术的发展,等离子体清洗的优势越来越明显。文章介绍了等离子体清洗的特点和应用,讨论了它的
2023-10-18 17:42
GaAs晶圆作为常用的一类晶圆,在半导体功率芯片和光电子芯片都有广泛应用。而如何处理好该类晶圆的清洗和进一步的钝化工作是生产工艺过程中需要关注的点。
2024-10-30 10:46
PCBA加工后免清洗是一个系统工程,从PCB设计到SMT生产过程都须严格要求,要尽量避免生产制造过程中造成人为的污染。在免清洗工艺设计和工艺管理控制上要有切实有效的措施
2019-12-26 11:38
PCBA水清洗工艺是以水作为清洗介质,可在水中添加少量(一般为2%~10%)表面活性剂、缓蚀剂等化学物质,通过洗涤,经多次纯水或去离子水的源洗和干燥完成PCBA清洗的过
2019-12-26 11:35
本文研究了外延沉积前原位工艺清洗的效果,该过程包括使用溶解的臭氧来去除晶片表面的有机物,此外,该过程是在原位进行的,没有像传统上那样将晶圆从工艺转移到冲洗罐。结果表明,与不使用溶解臭氧作为表面处理
2022-04-12 13:25
。随着芯片的高性能/低电力化,工艺变得复杂化,仅前工序就已经达到数百工序,其中约1/4~1/5被清洗工序所占据。特别是在FEOL中,1970年开发出了组合高纯度药品使用的RCA
2022-04-20 16:11
摘 要:文章主要论述了手工清洗剂的分类;手工清洗剂的选择应考虑哪些特性;手工清洗工艺方法;几种手工清洗剂的特性、材料兼容
2023-10-19 10:06
LED 芯片的制造工艺流程:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2 腐蚀→去胶→N极图形光刻→预
2016-08-05 17:45