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型号：WD4000系列 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

中图仪器WD4000无图晶圆膜厚检测设备自动测量 Wafer 厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。系统采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术，完成非

2024-07-18 14:57 中图仪器 企业号

型号：WD4000 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

WD4000半导体无图晶圆形貌检测设备集成厚度测量模组和三维形貌 、粗糙度测量模组，非接触厚度 、三维维纳形貌一体测量。通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度

2024-05-10 10:07 中图仪器 企业号

型号：Mars系列 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

中图国产三坐标检测设备支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。支持中图Power DMIS、Rational DMIS、ARCOCAD等测

2025-04-22 14:15 中图仪器 企业号

型号：WD4000 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

WD4000无图晶圆几何量测系统自动测量 Wafer 厚度 、表面粗糙度 、三维形貌 、单层膜厚 、多层膜厚 。使用光谱共焦对射技术测量晶圆 Thickness 、TTV 、LTV 、BOW

2023-10-18 09:09 中图仪器 企业号

型号：WD4000系列 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

WD4000半导体无图晶圆几何形貌检测机可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。自动测量Wafer厚度、表面粗糙度

2024-05-27 10:46 中图仪器 企业号

型号：WD4000系列 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

中图仪器WD4000无图晶圆粗糙度测量设备采用白光光谱共焦多传感器和白光干涉显微测量双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立表面3D层析图像，实现Wafer厚度、翘曲度、平面度、线粗糙度、总体厚度变化

2024-05-29 11:10 中图仪器 企业号

型号：WD4000 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

WD4000无图晶圆几何形貌测量设备采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立3D Mapping图，实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等

2024-01-10 11:10 中图仪器 企业号

型号：WD4000 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

WD4000无图晶圆几何形貌测量系统是通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。可兼容不同材质

2024-02-21 13:50 中图仪器 企业号

型号：WD4000系列 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

中图仪器WD4000半导体无图晶圆Wafer厚度测量系统自动测量 Wafer 厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅

2024-08-09 15:07 中图仪器 企业号

型号：WD4000 品牌：中<b class='flag-s-7'>图</b>仪器

中图仪器WD4000无图晶圆几何形貌量测系统自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。它采用白光光谱共焦多传感器和白光干涉显微测量双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立表面3D

2023-12-14 10:57 中图仪器 企业号