的加工工艺流程,加工过程中需要运用刻蚀机在晶圆上把复杂的3D图形一层一层“堆叠”起来,实现单片机IC芯片的更小化。芯片,
2018-08-23 17:34
`华林科纳湿法设备分类全自动设备:全自动RCA清洗机全自动硅片刻蚀机全自动片盒清洗机全自动石英管清洗机半自动设备:半自动
2021-02-07 10:14
AOE刻蚀氧化硅可以,同时这个设备可以刻蚀硅吗?大致的气体配比是怎样的,我这里常规的刻蚀气体都有,但是过去用的ICP,还没有用过AOE刻蚀硅,请哪位大佬指点一下,谢谢。
2022-10-21 07:20
上。 刻蚀只去除曝光图形上的材料。 在芯片工艺中,图形化和刻蚀过程会重复进行多次。2017年3月11日,据CCTV2财经频道节目的报道,中微AMEC正在研制目前世界最先进的5纳米等离子
2017-10-09 19:41
典型的硅刻蚀是用含氮的物质与氢氟酸的混合水溶液。这一配比规则在控制刻蚀中成为一个重要的因素。在一些比率上,刻蚀硅会有放热反应。加热反应所产生的热可加速刻蚀反应,接下来又
2018-12-21 13:49
最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅,采用的是ICP系列设备,刻蚀气体使用的是SF6+O2,碳化硅上面没有做任何掩膜,就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但是实际刻
2022-08-31 16:29
新加坡知名半导体晶圆代工厂招聘资深刻蚀工艺工程师和刻蚀设备主管!此职位为内部推荐,深刻蚀工艺工程师需要有LAM 8寸机台poly刻蚀经验。
2017-04-29 14:23
半导体光刻蚀工艺
2021-02-05 09:41
太阳能电池薄膜激光刻蚀机配了台特域冷水机,用的是什么制冷机?
2017-11-25 14:30
台面刻蚀深度对埋栅SITH栅阴击穿的影响针对台面刻蚀深度对埋栅型静电感应晶闸管(SITH)栅阴击穿特性的影响做了实验研究。实验结果表明,随着台面刻蚀深度的增大,器件栅阴击穿由原来的软击穿变为硬击穿
2009-10-06 09:30