AOE刻蚀氧化硅可以，同时这个设备可以刻蚀硅吗？大致的气体配比是怎样的，我这里常规的刻蚀气体都有，但是过去用的ICP，还没有用过AOE刻蚀硅，请哪位大佬指点一下，谢谢。
2022-10-21 07:20
最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅，采用的是ICP系列设备，刻蚀气体使用的是SF6+O2，碳化硅上面没有做任何掩膜，就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但是实际刻
2022-08-31 16:29
太阳能电池薄膜激光刻蚀机配了台特域冷水机，用的是什么制冷机？
2017-11-25 14:30
谐振器促隐形超材料突破 概念股有望全面爆发 据媒体报道，近日美国爱荷华州立大学工程师研发了一种柔性、可伸缩的超材料外层（Meta-skin），声称能够帮助物体躲过雷达的侦察，并有望被用来制作隐形斗篷
2016-04-28 18:20
单片机的8个常用概念
2021-03-29 06:25
什么是GPIO？单片机、ARM上的引脚是一个概念吗？
2021-10-25 06:14
常见到将多股导线绞起来作为高频导体，据说这样可以减小导线的射频阻抗，这是为什么？
2019-01-27 11:11
随着电子技术的迅速发展，计算机已深入地渗透到我们的生活中，许多电子爱好者开始学习单片机知识，但单片机的内容比较抽象，相对电子爱好者已熟悉的模拟电路、数字电路，单片机中有一些新的
2021-02-05 07:48
XX nm制造工艺是什么概念？为什么说7nm是物理极限？
2021-10-20 07:15
我最近用的一个移相全桥拓扑，主芯片UC3875，触发驱动TPS2812，电路是稳定的这我可以确认（用了很多年了）。 现在做一个两线AC380V输入，DC65V输出的电源，在空载调试时，上电片刻炸机
2019-01-15 09:42
