AOE刻蚀氧化硅可以，同时这个设备可以刻蚀硅吗？大致的气体配比是怎样的，我这里常规的刻蚀气体都有，但是过去用的ICP，还没有用过AOE刻蚀硅，请哪位大佬指点一下，谢谢。
2022-10-21 07:20
请问一下芯片制造究竟有多难？
2021-06-18 06:53
最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅，采用的是ICP系列设备，刻蚀气体使用的是SF6+O2，碳化硅上面没有做任何掩膜，就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但是实际刻
2022-08-31 16:29
国际半导体芯片巨头垄断加剧半导体芯片产业呈现三大趋势
2021-02-04 07:26
随着近些年RFID技术的发展，航空领域内如航空公司、飞机制造商和供应商等主体都开始普遍采用RFID技术进行资产追踪识别管理，将这一技术纳入贸易合作伙伴计划，原材料管理或是资产维修维护管理的一项重要
2019-08-05 06:49
介绍目前，非信令技术正方兴未艾，主要用于缩减制造测试时间和成本，并且适用于广泛的技术。芯片组厂商正在想方设法为手机制造商提供此类能力。因此开发针对特定芯片组的专用测试模
2019-09-27 07:07
XX nm制造工艺是什么概念？为什么说7nm是物理极限？
2021-10-20 07:15
太阳能电池薄膜激光刻蚀机配了台特域冷水机，用的是什么制冷机？
2017-11-25 14:30
芯片制造全工艺流程详情
2020-12-28 06:20
工作制S1的电机与工作制S3的电机制造工艺与电机结构有什么区别呢？ 求指教。 我是想问电机制造过程有什么不同？
2023-11-09 07:46
