芯片刻蚀是半导体制造中的关键步骤,用于将设计图案从掩膜转移到硅片或其他材料上,形成电路结构。其原理是通过化学或物理方法去除特定材料(如硅、金属或介质层),以下是芯片刻蚀的基本原理和分类: 1. 刻蚀
2025-05-06 10:35
在半导体制程工艺中,有很多不同名称的用于移除多余材料的工艺,如“清洗”、“刻蚀”等。如果说“清洗”工艺是把整张晶圆上多余的不纯物去除掉,“
2023-09-24 17:42
半导体光刻蚀工艺
2021-02-05 09:41
本文介绍了刻蚀工艺参数有哪些。 刻蚀是芯片制造中一个至关重要的步骤,用于在硅片上形成微小的电路结构。它通过化学或物理方法去除材料层,以达到特定的设计要求。本文将介绍几种
2024-12-05 16:03
在本篇文章中,我们主要介绍刻蚀工艺评价的工艺参数以及如何做好刻蚀工艺。 一、
2024-11-15 10:15
刻蚀室半导体IC制造中的至关重要的一道工艺,一般有干法刻蚀和湿法刻蚀两种,干法刻蚀和湿法
2022-06-13 14:43
第一种是间歇式刻蚀方法(BOSCH),即多次交替循环刻蚀和淀积工艺,刻蚀工艺使用的是SF6气体,淀积
2023-07-14 09:54
新加坡知名半导体晶圆代工厂招聘资深刻蚀工艺工程师和刻蚀设备主管!此职位为内部推荐,深刻蚀工艺工程师需要有LAM 8寸机台
2017-04-29 14:23