]。光刻胶涂覆在半导体、导体和绝缘体上,经曝光显影后留下的部分对底层起保护作用,然后采用超净高纯试剂进行蚀刻,从而完成了将掩膜版图形转移到底层上的图形转移过程。一个IC的制造一般需要经过10多次图形转移
2018-08-23 11:56
半导体制造领域的标志:NR9-PY 系列负性光刻胶,适用于lift-off工艺;具有高效粘附性,高反应速度并耐高温性能好。 NR71-PY 系列 负性光刻胶,适用于lift-off工艺,耐高温性能好
2010-04-21 10:57
光刻胶也称为光致抗蚀剂,是一种光敏材料,它受到光照后特性会发生改变。光刻胶主要用来将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上。光刻胶
2019-11-07 09:00
这是我的版图一部分,然后生成了图案是这样的: 感觉间距小的地方全都有残留,间距大的地方没有残留;工艺参数:s9920光刻胶, evg 620‘未进行蒸汽底漆层涂覆,前烘:100摄氏度,90s
2016-11-29 14:59
151n光刻胶曝光显影后开口底部都会有一撮残留,找不到原因。各位帮分析下
2023-04-20 13:13
芯片委托加工合同并拿到客户的电路版图数据后,首先要根据电路版图数据制作成套的光掩膜版。 晶圆上电路制造 准备好硅片和整套的光掩膜版后,芯片制造就进入在警员上
2025-04-02 15:59
。先进的刻蚀技术使芯片制造商能够使用双倍、四倍和基于间隔的图案来创造出现代芯片设计的微小尺寸。和光刻胶一样,刻蚀也分为“干式”和“湿式”两
2022-04-08 15:12
工艺流程: 芯片设计,光掩模版制作,晶圆上电路制造,(薄膜氧化,平坦化,光刻胶涂布,光刻,刻蚀,离子注入扩散,裸片检测)
2025-03-27 16:38
一、光刻胶的选择光刻胶包括两种基本的类型:正性光刻和负性光刻,区别如下
2021-01-12 10:17
光刻技术中,涂有光刻胶的硅片与掩膜版直接接触.由于光刻胶和掩膜版之间紧密接触,因此可以得到比较高的分辨率.接触式暴光的主要问题是容易损伤掩膜版和光刻胶.当掩膜版与硅片接
2012-01-12 10:56