最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅，采用的是ICP系列设备，刻蚀气体使用的是SF6+O2，碳化硅上面没有做任何掩膜，就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但
2022-08-31 16:29
AOE刻蚀氧化硅可以，同时这个设备可以刻蚀硅吗？大致的气体配比是怎样的，我这里常规的刻蚀气体都有，但是过去用的ICP，还没有用过AOE刻蚀硅，请哪位大佬指点一下，谢谢。
2022-10-21 07:20
太阳能电池薄膜激光刻蚀机配了台特域冷水机，用的是什么制冷机？
2017-11-25 14:30
请问一下芯片制造究竟有多难？
2021-06-18 06:53
XX nm制造工艺是什么概念？为什么说7nm是物理极限？
2021-10-20 07:15
芯片制造全工艺流程详情
2020-12-28 06:20
芯片是怎样制造出来的？有哪些过程呢？
2021-10-25 08:52
微波印制板，是指在特定的微波基材覆铜板上，利用普通刚性印制板制造方法生产出来的微波器件。那么什么高频微波印制板呢？制造的时候又需要注意哪些事项呢？
2019-08-02 06:38
`请问制造出高品质的线路板需要哪些条件？`
2020-03-11 15:03
晶圆的制造过程是怎样的？
2021-06-18 07:55
