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  • 单片IC芯片开发之刻蚀的作用

    的加工工艺流程,加工过程中需要运用刻蚀在晶圆上把复杂的3D图形一层一层“堆叠”起来,实现单片IC芯片的更小化。

    2018-08-23 17:34

  • 【「大话芯片制造」阅读体验】+ 芯片制造过程和生产工艺

    。 光刻则是在晶圆上“印刷”电路图案的关键环节,类似于在晶圆表面绘制半导体制造所需的详细平面图。光刻的精细度直接影响到成品芯片的集成度,因此需要借助先进的光刻技术来实现。 刻蚀

    2024-12-30 18:15

  • 单片晶圆制造工艺及设备详解

    今日分享晶圆制造过程中的工艺及运用到的半导体设备。晶圆制造过程中有几大重要的步骤:氧化、沉积、光刻、刻蚀、离子注入/扩散等。这几个主要步骤都需要若干种半导体设备,满足不

    2018-10-15 15:11

  • 振奋!中微半导体国产5纳米刻蚀助力中国芯

    就能对层上的特定部分进行选择性地移除。在有的情况中,罩的材料为光阻性的,这和光刻中利用的原理类似。而在其他情况中,刻蚀需要耐受某些化学物质,氮化硅就可以用来制造这样的“罩”。“干法”(等离子)

    2017-10-09 19:41

  • 列数芯片制造所需设备

    看一看,数一数,制造一枚合格的芯片需要哪些设备?光刻光刻芯片

    2018-09-03 09:31

  • 一文带你了解芯片制造的6个关键步骤

    的用于保护不被刻蚀区域的光刻胶将被移除。 封装在一块晶圆上制造芯片需要经过上千道工序,从设计到生产需要三个多月的时间。

    2022-04-08 15:12

  • 【「芯片通识课:一本书读懂芯片技术」阅读体验】芯片怎样制造

    。 光刻工艺、刻蚀工艺 在芯片制造过程中,光刻工艺和刻蚀工艺用于在某个半导体材料或介质材料层上,按照光掩膜版上的图形,“刻制”出材料层的图形。 首先准备好硅片和光掩膜版

    2025-04-02 15:59

  • 台面刻蚀深度对埋栅SITH栅阴击穿的影响

    击穿电压。同时,还简要描述了这种器件的制造工艺。关键词:静电感应晶闸管;埋栅结构;台面刻蚀;栅阴击穿;表面缺

    2009-10-06 09:30

  • 请教碳化硅刻蚀工艺

    最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅,采用的是ICP系列设备,刻蚀气体使用的是SF6+O2,碳化硅上面没有做任何掩膜,就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但

    2022-08-31 16:29

  • 【转帖】干法刻蚀的优点和过程

    蒸发,所以刻蚀要在一个装有冷却盖的密封回流容器中进行。主要问题是光刻胶层经不起刻蚀剂的温度和高刻蚀速率。因此,需要一层二氧化硅或其他材料来阻挡

    2018-12-21 13:49