光刻是芯片制造过程中至关重要的一步,它定义了芯片上的各种微细图案,并且要求极高的精度。以下是光刻过程的详细介绍,包括原理
2025-01-28 16:36
芯片前道制造可以划分为七个环节,即沉积、涂胶、光刻、去胶、烘烤、刻蚀、离子注入。
2023-06-08 10:57
光刻机是芯片制造的重要设备,内部结构精密复杂,它决定着芯片的制程工艺,是芯片生产中不可少的关键设备,而且
2021-12-30 09:46
]。光刻胶涂覆在半导体、导体和绝缘体上,经曝光显影后留下的部分对底层起保护作用,然后采用超净高纯试剂进行蚀刻,从而完成了将掩膜版图形转移到底层上的图形转移过程。一个IC的制造一般需要经过10多次图形转移
2018-08-23 11:56
。 光刻则是在晶圆上“印刷”电路图案的关键环节,类似于在晶圆表面绘制半导体制造所需的详细平面图。光刻的精细度直接影响到成品芯片的集成度,因此
2024-12-30 18:15