工艺。如Deal-Grove模型所述，这种制造MEMS的方法主要依赖于硅的氧化。热氧化工艺用于通过高精度尺寸控制生产各种硅结构。包括光频率梳[24]和硅MEMS压力传感器[25]在内的
2021-01-05 10:33
自检所需信息，给指挥员决策提供依据;④提供各分系统、整机内部检测参数，验证设计的正确性。⑤监测飞行器内外部的环境，为飞行员航天员提供所需的生存条件，保障正常飞行参数。MEMS传感器构成的电子设备
2016-12-07 15:45
评估MEMS麦克风的最佳工具或设备是什么？以上来自于谷歌翻译以下为原文 What are the best tool or equipment to evaluate the MEMS microphones?
2018-09-28 16:47
在电子制造领域，芯片引脚成型设备和芯片引脚整形设备是两种重要的工具，它们在功能和应用场景上存在显著区别。了解这些区别有助
2025-07-19 11:07
芯片是未来众多高技术产业的食粮，芯片设计制造技术成为世界主要大国竞争的最重要领域之一。而芯片生产设备又为
2018-09-03 09:31
基于MEMS的加速度计设备是如何工作的？基于MEMS的陀螺仪设备是如何工作的？
2021-11-12 06:59
都在同一基板上的单芯片三轴传感器，通常指定1%的跨轴灵敏度。最后，作为用于测量重力矢量的设备，MEMS加速度计提供直流响应，输出噪声密度保持在直流附近，仅受电子信号调理1/f转折频率限制，通过精心设计
2018-10-12 11:01
电子设备和通信系统设备的振荡器选择是影响系统性能的主要因素。目前振荡器有两种：石英晶体振荡器是由石英晶体的基本结构构成，和一个简单的振荡器电路。全硅MEMS谐振器，锁向电路，温度补偿，以及
2020-05-30 13:25
成了一个 3 轴 16 位微机电系统 (MEMS) 加速计和一个 3 轴 16 位 MEMS 陀螺仪。IMU 加速计执行 BMA423 的所有功能，而陀螺仪使设备可以检测运动方向。这让 BMI160
2019-01-02 16:00
成了一个 3 轴 16 位微机电系统 (MEMS) 加速计和一个 3 轴 16 位 MEMS 陀螺仪。IMU 加速计执行 BMA423 的所有功能，而陀螺仪使设备可以检测运动方向。这让 BMI160
2019-01-02 16:00
