芯片制造设备的精度要求达到了令人惊叹的程度。以光刻机为例，它的光刻分辨率可达纳米级别，在如此高的精度下，哪怕是极其微小的震动，都可能让设备部件产生位移或变形。这一细微变
2025-05-21 16:51 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号
工艺。如Deal-Grove模型所述，这种制造MEMS的方法主要依赖于硅的氧化。热氧化工艺用于通过高精度尺寸控制生产各种硅结构。包括光频率梳[24]和硅MEMS压力传感器[25]在内的
2021-01-05 10:33
文章大纲 光刻是芯片制造最核心环节，大陆自给率亟待提升 ·光刻机是芯片制造的核心设备，市场规模全球第二 ·一超两强垄断市
2023-06-19 10:04
最清晰明了的方式，图解直观阐述MEMS传感器芯片的制造过程和原理！ MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有
2023-11-02 08:37
芯片是未来众多高技术产业的食粮，芯片设计制造技术成为世界主要大国竞争的最重要领域之一。而芯片生产设备又为
2018-09-03 09:31
MEMS存储器是一种新型存储器件，本内容介绍了MEMS存储设备的管理技术，请求调度算法，数据布局策略等内容
2012-12-11 14:25
本文整理自公众号芯生活SEMI Businessweek中关于MEMS制造工艺的多篇系列内容，全面、专业地介绍了MEMS芯片制造
2023-10-20 16:10
和封装成本。本文讨论不同的半导体 MEMS 制造方法及其进展。 半导体 MEMS 的重要性 MEMS 主要是传感器系统，可以控制或感测化学、光学或物理量，例如流体、加速
2023-11-24 09:19
