AOE刻蚀氧化硅可以,同时这个设备可以刻蚀硅吗?大致的气体配比是怎样的,我这里常规的刻蚀气体都有,但是过去用的ICP,还没有用过AOE
2022-10-21 07:20
最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅,采用的是ICP系列设备,刻蚀气体使用的是SF6+O2,碳化硅上面没有做任何掩膜,就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但
2022-08-31 16:29
太阳能电池薄膜激光刻蚀机配了台特域冷水机,用的是什么制冷机?
2017-11-25 14:30
请问一下芯片制造究竟有多难?
2021-06-18 06:53
启动套件是如何帮助通信设备制造商的?
2021-05-28 06:00
XX nm制造工艺是什么概念?为什么说7nm是物理极限?
2021-10-20 07:15
芯片制造全工艺流程详情
2020-12-28 06:20
”10. 复合材料制造自动化技术的应用与未来发展2. 工业强基专项重点方向与最新进展11. 先进高端医疗设备制造对于精密零部件新需求3. 我国制造业与两化融合重点方向分
2015-03-25 10:22
”。6。设备ID读取可以从12个制造商位(第一字节+第二字节的四个MSB)开始,然后是九个部分标识位(第二字节的四个LSBs of+第三字节的五个MSB),然后是三个芯片修订位(第三字节的三个LSB
2020-03-10 08:18
芯片是怎样制造出来的?有哪些过程呢?
2021-10-25 08:52