在半导体制造领域,晶圆抛光作为关键工序,对设备稳定性要求近乎苛刻。哪怕极其细微的振动,都可能对晶圆表面质量产生严重影响,进而左右芯片
2025-05-22 14:58 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号
半导体设备光刻机防震基座在 LCD 面板制造曝光机中的成功应用案例-江苏泊苏系统集成有限公司一、案例背景在 LCD(Liquid Crystal Display)面板制造领域,曝光机
2024-12-24 14:43 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号
,其电子束光刻设备在芯片制造的光刻工艺中起着关键作用。然而,企业所在园区周边存在众多工厂,日常生产活动产生复杂的振动源,包括重型机械运转、车辆行驶以及建筑物内部的机
2025-01-07 15:13 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号