光刻是集成电路最重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的技术
2019-02-25 10:07
在集成电路的制造过程中,有一个重要的环节——光刻,正因为有了它,我们才能在微小的芯片上实现功能。
2018-12-29 15:32
光刻是集成电路最重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的技术
2019-12-21 09:58
光刻是集成电路最重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的技术
2019-03-02 09:41
在集成电路的制造过程中,有一个重要的环节——光刻,正因为有了它,我们才能在微小的芯片上实现功能。
2019-01-03 15:31
在 MEMS(微机电系统)制造领域,光刻工艺是决定版图中的图案能否精确 “印刷” 到硅片上的核心环节。光刻 Overlay(套刻精度),则是衡量光刻机将不同层设计图案对
2025-06-18 11:30
。 01光刻技术的基本原理 光刻的基本原理是利用光致抗蚀剂(或称光刻胶)感光后因光化学反应而形
2019-01-02 16:32
光学光刻是通过广德照射用投影方法将掩模上的大规模集成电路器件的结构图形画在涂有光刻胶的硅片上,通过光的照射,光刻胶的成分发生化学反应,从而生成电路图。限制成品所能获得的
2018-04-17 16:07
光刻是集成电路最重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的
2018-06-27 15:43
定向自组装光刻技术通过材料科学与自组装工艺的深度融合,正在重构纳米制造的工艺组成。主要内容包含图形结构外延法、化学外延法及图形转移
2025-05-21 15:24