Dimension, CD)小型化(2D视角),刻蚀工艺从湿法刻蚀转为干法刻蚀,因此所需的设备和工艺更加复杂。由于积极采用3D单元堆叠方法,刻蚀工艺的核心性能指数出现
2023-06-26 09:20
LED 芯片的制造工艺流程:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2 腐蚀→
2016-08-05 17:45
Bosch刻蚀工艺作为微纳加工领域的关键技术,对于HBM和TSV的制造起到了至关重要的作用。
2024-10-31 09:43
半导体知识 芯片制造工艺流程讲解
2019-01-26 11:10
芯片制造的过程就如同用乐高盖房子一样,先有晶圆作为地基,再层层往上叠的芯片制造流程后,就可产出必要的 IC
2019-06-06 14:54
在科技日新月异的今天,芯片作为信息技术的核心部件,其制作工艺的复杂性和精密性令人叹为观止。从一粒普通的沙子到一颗蕴含无数晶体管的高科技芯片,这一过程不仅凝聚了人类智慧的结晶,也展现了现代半导体工业的极致工艺。本文将讲述芯片
2024-10-28 14:30
今天我们要一起揭开一个隐藏在现代电子设备背后的高科技秘密——干法刻蚀工艺。这不仅是一场对微观世界的深入探秘,更是一次对半导体芯片制造艺术的奇妙之旅。
2024-08-26 10:13
本文主要详解T218半导体芯片制造,首先介绍了T218半导体芯片设计流程图,其次介绍了T218半导体芯片
2018-05-31 15:03
在芯片生产制造过程中,各工艺流程环环相扣,技术复杂,材料、环境、工艺参数等因素的微变常导致芯片产生缺陷,影响产品良率。
2024-02-23 10:38
W刻蚀工艺中使用SF6作为主刻步气体,并通过加入N2以增加对光刻胶的选择比,加入O2减少碳沉积。在W回刻工艺中分为两步,第一步是快速均匀地刻掉大部分W,第二步则降低刻蚀速率减弱负载效应,避免产生凹坑,并使用对TiN有高选择比的化学气体进行
2023-12-06 09:38