过程装备成套技术综合实验1、 引言《过程装备成套技术》是“过程装备与控制工程”专业的一门综合性专业课程。为了培
2009-05-16 02:04
国家两大电网公司都启动了自适应成套自动化装备制造项目,旨在预先研究智能电气制造装备和技术,以实现大型复杂电网系统下研制
2020-05-08 14:24
本文简单介绍了芯片制造的7个前道工艺。 在探索现代科技的微观奇迹中,芯片制造无疑扮演着核心角色,它不仅是信息技术飞速
2025-01-08 11:48
摘 要:针对半导体工艺与制造装备的发展趋势进行了综述和展望。首先从支撑电子信息技术发展的角度,分析半导体工艺与制造
2023-05-23 15:23
实验、光学零件的抛光工艺 一。实验目的:1.掌握抛光的基本原理.2.了解镜片抛光过程。3.了解抛光加工的整个操作过程
2008-09-22 12:40
IC装备专项在工艺方面也取得了重大突破。中芯国际自主研发的“65nm低漏电产品工艺”已实现量产,45nm工艺正在做量产准备。上海华虹、宏力、无锡华润一批特色产品
2019-03-01 15:27
晶圆,作为芯片制造的基础载体,其表面平整度对于后续芯片制造工艺的成功与否起着决定性作用。
2025-01-24 10:06
CMP 所采用的设备及耗材包括抛光机、抛光液(又称研磨液)、抛光垫、抛光后清洗设备、拋光终点(End Point)检测及工艺
2022-11-08 09:48
使用化学机械抛光(CMP)方法对碳化硅晶片进行了超精密抛光试验,探究了滴液速率、抛光头转 速、抛光压力、抛光时长及晶片吸
2023-05-31 10:30
机械抛光基本程序  要想获得高质量的抛光效果,最重要的是要具备有高质量的油石、砂纸和钻石研磨膏等抛光工具和辅助品。而抛光程序的选择取决于前期加工后的表
2022-04-12 09:53