CMP(Chemical Mechanical Polishing)即“化学机械抛光”,是为了克服化学抛光和机械抛光的缺点
2023-12-05 09:35
最后的抛光步骤是进行化学蚀刻和机械抛光的结合,这种形式的抛光称为化学机械抛光(CMP)。首先要做的事是,将晶圆片安装在旋转支架上并且要降低到一个
2024-01-12 09:54
1)在单晶硅片制造环节,单晶硅片首先通过化学腐蚀减薄,此时粗糙度在 10-20μm,在进行粗抛光、细抛光、精抛光等步骤,可将粗糙度控制在几十个 nm 以内。一般来说,单
2018-11-17 09:36
机械抛光是一种通过物理或化学作用改善材料表面粗糙度和光泽度的过程。这个过程通常用于金属、塑料、玻璃和其他材料的表面处理。机械抛光设备和辅助品的选择取决于材料类型、抛光目的和预期的表面质量。以下是一篇
2024-09-11 15:43
在半导体和LED的制造中,需要研磨以使晶片的厚度变薄,以及抛光以使表面成为镜面。在半导体器件的制造中,半导体制造工艺包括:(1)从晶体生长开始切割和
2022-04-20 16:09