很多人都知道，离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，而中国电子科技集团有限公司旗下装备子集团就是在离子注入机方面取得了重大
2021-04-17 08:14
本文介绍了离子注入机的相关原理。 离子注入机的原理是什么？
2024-04-18 11:31
离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元
2023-06-30 16:41
离子注入设备和方法:最简单的离子注入机（图2）应包括一个产生离子的离子源和放置待处理物件的靶室。
2011-05-22 12:29
离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元
2023-07-03 15:05
尽管SiC制造过程中的多数设备与常规硅类通用，但因其具备高硬度特性，需要专属设备支持，包括高级别的高温离子注入机、强效的碳膜溅射仪以及大规模的高温退火炉等。其中，能否拥
2024-05-17 09:47
该专利揭示了一款专用于集成电路生产线的离子注入机，属于半导体加工设备技术领域。该设备主要由支撑框架、离子注入机构、照射箱组件和扰流机构组成，同时配备吸尘除尘组件。
2024-05-28 10:06
近日，从电科装备旗下烁科中科信公司传来喜讯，公司研发的12英寸中束流离子注入机顺利发往某集成电路大产线，这台由客户直接采购的设备如期交付，标志着公司国产离子注入机市场化进程再上新台阶。
2020-06-23 10:20
目前，离子注入机行业主要由美国厂商垄断，应用材料（Applied Materials）、亚舍立（Axcelis）合计占据全球 85%-90%的市场，存在较高竞争壁垒，也是解决芯片国产化设备卡脖子的
2020-12-04 10:21
据了解，到2024年第一季度为止，该公司已陆续向多个特定客户发出了多个离子注入机订单，单季度就完成了八台离子注入机的客户端上线工作，呈现出迅猛增长的发展态势，取得了良好开局。
2024-03-30 09:34
