的有氧化炉、沉积设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入机、清洗机、化学研磨设备
2018-10-15 15:11
离子注入是将离子源产生的离子经加速后高速射向材料表面，当离子进入表面，将与固体中的原子碰撞，将其挤进内部，并在其射程前后和侧面激发出一个尾迹。这些撞离原子再与其它原子碰
2019-10-30 09:10
离子注入工艺资料~还不错哦~
2012-08-01 10:58
。【关键词】：离子注入;;H-SiC;;卢瑟福背散射技术;;射程分布【DOI】：CNKI:SUN:SDJC.0.2010-02-024【正文快照】：SiC是自第1代元素半导体(Si)和第2代化合物半导体
2010-04-22 11:36
, 垂直地射向样品表面, 进行物理轰击, 使得反应离子刻蚀具有很好的各向异性。离子注入机离子注入机是高压小型加速器中的一种。它是由离子源得到所需要的
2018-09-03 09:31
TSMC，中芯国际SMIC 组成:核心:生产线，服务:技术部门，生产管理部门，动力站（双路保障），废水处理站(环保，循环利用)等。生产线主要设备: 外延炉，薄膜设备，光刻机，蚀刻
2025-03-27 16:38
如题，寻求一种Si衬底上N+离子注入的有效单项监控手段
2021-04-01 23:50
请问各位大侠，离子注入时有遇到做V-CURVE时，出现倒着的抛物线吗？急，在线等，谢谢！
2018-08-05 19:29
在智能手机等众多数码产品的更新迭代中，科技的改变悄然发生。苹果A15仿生芯片等尖端芯片正使得更多革新技术成为可能。这些芯片是如何被制造出来的，其中又有哪些
2022-04-08 15:12
太阳能光伏发电原理及关键设备
2016-06-23 18:15
