本文介绍了用来提高光刻机分辨率的浸润式光刻技术。 芯片制造：光刻
2024-11-24 11:04
光刻机是芯片制造的重要设备，内部结构精密复杂，它决定着芯片的制程工艺，是芯片生产中不可少的关键设备，而且
2021-12-30 09:46
摘要：芯片制造用到的技术很多，光刻是芯片制造的灵魂
2020-12-04 15:45
随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级（从毫米级到亚微米级），已从常规光学技术发展到应用电子束、 X射线、微离子束、激光等新
2012-01-12 10:51
