半导体光刻蚀工艺
2021-02-05 09:41
盖楼一样,层层堆叠。 总结一下,芯片制造的主要过程包括晶圆加工、氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积、互连、测试和封装。 晶圆,作为单晶柱体切割而成的圆薄片,其制作原料是硅或砷化
2024-12-30 18:15
今日分享晶圆制造过程中的工艺及运用到的半导体设备。晶圆制造过程中有几大重要的步骤:氧化、沉积、光刻、刻蚀、离子注入/扩散
2018-10-15 15:11
。 光刻工艺、刻蚀工艺 在芯片制造过程中,光刻工艺和
2025-04-02 15:59
资料介绍 此文档是最详尽最完整介绍半导体前端工艺和后端制程的书籍,作者是美国人Michael Quirk。看完相信你对整个芯片制造流程会非常清晰地了解。从硅片制造,到晶
2025-04-15 13:52
制造过程中,步骤会因为不同的材料和工艺而有所差异,不过大体上皆采用这样的类似工艺过程,于是就需要用到光刻机和刻蚀机。首先
2018-08-23 17:34
形成电路,而“湿法”刻蚀(使用化学浴)主要用于清洁晶圆。 干法刻蚀是半导体制造中最常用的工艺之一。 开始刻蚀前,晶圆上会
2017-10-09 19:41
工艺流程: 芯片设计,光掩模版制作,晶圆上电路制造,(薄膜氧化,平坦化,光刻胶涂布,光刻,
2025-03-27 16:38
看一看,数一数,制造一枚合格的芯片都需要哪些设备?光刻机光刻机是芯片制造
2018-09-03 09:31
的图案。在"刻蚀"过程中,晶圆被烘烤和显影,一些光刻胶被洗掉,从而显示出一个开放通道的3D图案。刻蚀工艺必须在不影响
2022-04-08 15:12