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  • 芯片制造过程图解 CMP是什么意思

    本文我们就来简单介绍一下关于芯片制造过程图解。芯片制造包含数百个步骤,整个过程,空气质量和温度都受到严格控制,下面我

    2021-12-08 13:44

  • cmp是什么意思 cmp工艺原理

    CMP 主要负责对晶圆表面实现平坦化。晶圆制造前道加工环节主要包括7个相互独立的工艺流程:光刻、刻蚀、薄膜生长、扩散、离子注入、化学机械抛光、金属化 CMP 则主要用于衔接不同薄膜工艺,其中根据工艺

    2023-07-18 11:48

  • cmp在数据处理的应用 如何优化cmp性能

    CMP在数据处理的应用 CMP(并行处理)技术在数据处理领域扮演着越来越重要的角色。随着数据量的爆炸性增长,传统的串行处理方法已经无法满足现代应用对速度和效率的需求。CMP

    2024-12-17 09:27

  • 半导体制造CMP工艺后的清洗技术

    的半导体芯片的结构也变得复杂,包括从微粉化一边倒到三维化,半导体制造工艺也变得多样化。其中使用的材料也被迫发生变化,用于制造的半导体器件和材料的技术革新还没有停止。为了解决作为半导体

    2022-03-21 13:39

  • CMP工艺技术浅析

    芯片制造制程和工艺演进到一定程度、摩尔定律因没有合适的抛光工艺无法继续推进之时,CMP技术应运而生,是集成电路制造过程

    2023-02-03 10:27

  • 半导体制造工序CMP后的晶圆清洗工序

    CMP装置被应用于纳米级晶圆表面平坦化的抛光工艺。抛光颗粒以各种状态粘附到抛光后的晶片表面。必须确实去除可能成为产品缺陷原因的晶圆表面附着物,CMP后的清洗技术极为重要。在本文中,关于半导体制造工序

    2022-04-18 16:34

  • CMP技术原理,面临的挑战及前景分析

    在半导体制造这个高度精密且复杂的领域中,CMP(化学机械抛光)技术宛如一颗隐匿于幕后的璀璨明珠,虽不被大众所熟知,却在芯片制造的进程

    2024-12-17 11:26

  • 半导体制造CMP工艺后的清洗技术

    半导体的制造以硅晶圆为起点,经过形成前工序的晶体管的FEOL,插头形成的MOL,以及连接晶体管作为电子电路发挥作用的布线工序的BEOL,形成器件芯片,在后工序,将芯片

    2022-04-20 16:11

  • DHF在氧化后CMP清洗工艺的应用

    晶圆-机械聚晶(CMP)过程中产生的浆体颗粒对硅晶片表面的污染对设备工艺收率(Yield)的下降有着极大的影响。

    2022-03-14 10:50

  • 如何构建CMP模型 神经网络在CMP轮廓建模的应用

    CMP 建模有很长的历史,包括单材料和双材料抛光的建模,以及众多沉积和蚀刻工艺的建 模 [6]。

    2021-01-30 12:55