半导体炉管设备是用于半导体材料热处理的设备,包括电阻加热式和感应加热式两种形式。炉管是核心部件,将半导体材料放入加热炉中进行处理;加热元件负责对炉管内部进行加热;温控元件则对加热温度进行控制;抽气装置可以将
2024-04-24 11:27
集成电路的可靠性与内部半导体器件表面的性质有密切的关系,目前大部分的集成电路采用塑料封装而非陶瓷封装,而塑料并不能很好地阻挡湿气和可移动离子。为了避免外界环境的杂质扩散进入集成电路内部对器件产生影响,必须在芯片制造的过程中
2024-10-30 14:30
半导体知识 芯片制造工艺流程讲解
2019-01-26 11:10
电机作为现代工业中不可或缺的动力设备,其制造工艺的优劣直接影响到电机的性能、质量和可靠性。电机的制造工艺涵盖了多个环节,
2024-06-14 11:49
为了降低接触电阻和串联电阻,在集成电路制造中引入了硅化物工艺,业界先后采用了可规模生产的 WSi2 、TiSi2、CoSi2、NiSi 等工艺。
2022-11-21 09:25
在MEMS工艺中,常用的退火方法,如高温炉管退火和快速热退火(RTP)。RTP (Rapid Thermal Processing)是一种在很短的时间内将整个硅片加热到400~1300°C范围的方法。
2024-03-19 15:21
LED 芯片的制造工艺流程:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2 腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P
2016-08-05 17:45
通常,我们将芯片的生产过程划分为前端制程和后端制程两大阶段,其中前端制程专注于芯片的制造,而后端制程则关注于芯片的封装。
2025-02-12 11:27
本文介绍了集成电路制造工艺中的栅极的工作原理、材料、工艺,以及先进栅极工艺技术。
2025-03-27 16:07
二氧化硅是芯片制造中最基础且关键的绝缘材料。本文介绍其常见沉积方法与应用场景,解析SiO₂在栅极氧化、侧墙注入、STI隔离等核心工艺中的重要作用。
2025-04-10 14:36