光刻是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤,耗时长、成本高。半导体芯片生产的难点和关键点在于将电路图从掩模上转移
2018-04-08 16:10
半导体制造工艺之光刻工艺详解
2023-08-24 10:38
本文首先介绍了PCB蚀刻工艺原理和蚀刻工艺品质要求及控制要点,其次介绍了PCB蚀刻工艺制程管控参数及蚀刻工艺品质确认,最后阐述了PCB蚀
2018-05-07 09:09
LED 芯片的制造工艺流程:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火
2016-08-05 17:45
在万物互联,AI革命兴起的今天,半导体芯片已成为推动现代社会进步的心脏。而光刻(Lithography)技术,作为先进制造中最为精细和关键的工艺,不管是半导体
2024-08-26 10:10
半导体知识 芯片制造工艺流程讲解
2019-01-26 11:10
光刻工艺是芯片制造的关键步骤,其精度直接决定集成电路的性能与良率。随着制程迈向3nm及以下,光刻胶图案三维结构和层间对准精度的控制要求达纳米级,传统检测手段难满足需求。
2025-08-05 17:46 苏州光子湾科学仪器有限公司 企业号
Dimension, CD)小型化(2D视角),刻蚀工艺从湿法刻蚀转为干法刻蚀,因此所需的设备和工艺更加复杂。由于积极采用3D单元堆叠方法,刻蚀工艺的核心性能指数出现波动,从而刻蚀
2023-06-26 09:20
外,学生还就感兴趣的课题做深入调研。师生共同讨论调研报告,实现教学互动。调研的内容涉及光刻工艺、光刻成像理论、SMO、OPC和DTCO技术。
2023-07-07 11:21