最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅，采用的是ICP系列设备，刻蚀气体使用的是SF6+O2，碳化硅上面没有做任何掩膜，就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但是实际刻
2022-08-31 16:29
AOE刻蚀氧化硅可以，同时这个设备可以刻蚀硅吗？大致的气体配比是怎样的，我这里常规的刻蚀气体都有，但是过去用的ICP，还没有用过AOE刻蚀硅，请哪位大佬指点一下，谢谢。
2022-10-21 07:20
请问一下芯片制造究竟有多难？
2021-06-18 06:53
XX nm制造工艺是什么概念？为什么说7nm是物理极限？
2021-10-20 07:15
太阳能电池薄膜激光刻蚀机配了台特域冷水机，用的是什么制冷机？
2017-11-25 14:30
NIST相机是由哪些部分组成的？NIST相机有什么作用？制造NIST相机面临的主要挑战是什么？如何去解决？
2021-07-09 06:58
芯片制造全工艺流程详情
2020-12-28 06:20
，在车间生产过程中起到了重要的作用。激烈的市场竞争对现代制造业提出了进一步的要求，具体表现在以下几个方面：少量多种类的生产模式，不断缩短的生产周期，对客户多变需求的及时响应。这些都要求现代
2019-08-08 07:24
led驱动电源的芯片能起到什么样的作用？什么功能？
2018-04-24 11:41
芯片是怎样制造出来的？有哪些过程呢？
2021-10-25 08:52
