在芯片制造过程中的各工艺站点,有很多不同的工艺名称用于除去晶圆上多余材料,如“清洗”、“刻蚀”、“研磨”等。如果说“清洗”工艺是把晶圆上多余的脏污、particle、上
2024-12-16 15:03 Piezoman压电侠 企业号
本文简单介绍了芯片制造过程中的两种刻蚀方法 刻蚀(Etch)是芯片
2024-12-06 11:13
的加工工艺流程,加工过程中需要运用刻蚀机在晶圆上把复杂的3D图形一层一层“堆叠”起来,实现单片机IC芯片的更小化。芯片,本质上是一片载有集成电路(IC:Integrat
2018-08-23 17:34
在半导体制程工艺中,有很多不同名称的用于移除多余材料的工艺,如“清洗”、“刻蚀”等。如果说“清洗”工艺是把整张晶圆上多余的不纯物去除掉,“刻蚀”工艺则是在光刻胶的帮助下有选择性地移除不需要的材料,从而创建所需的微细图
2023-09-24 17:42
盖楼一样,层层堆叠。 总结一下,芯片制造的主要过程包括晶圆加工、氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积、互连、测试和封装。 晶圆,作为单晶柱体切割而成的圆薄片,其制作原料是硅或砷化镓。高纯度的硅材料提取自硅砂
2024-12-30 18:15
Bosch刻蚀工艺作为微纳加工领域的关键技术,对于HBM和TSV的制造起到了至关重要的作用。
2024-10-31 09:43