关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上,然后通过刻蚀技术把电路
2020-07-07 14:22
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步,对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关,电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长,而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
是分步投影光刻机.利用分步投影光刻机,再结合移相掩膜等技术,已经得到了最小线宽0.10微米的图形。 ◆接近式暴光与接触式暴光相似,只是在暴光时硅片和掩膜版之间保留有很小的间隙,这个间隙一般在10~25
2012-01-12 10:56
任重而道远。2.国内单片机芯片:晶圆硅提纯时需要旋转,然后进行切割成晶圆。晶圆加工的过程有点繁琐。首先在晶圆上涂一层感光材料(见光融化),光刻机提供精准的光线,在感光材料上刻出图案,让底下的晶圆裸露出
2018-09-03 16:48
电路设计—设计版图—制作光罩;接着是晶圆生产,由晶圆裸片—利用光罩光刻—得到晶圆—测试后的晶圆;到芯片封装,包含晶圆切割—芯片焊线—芯片封装;最后是
2018-08-23 17:34
TSMC,中芯国际SMIC 组成:核心:生产线,服务:技术部门,生产管理部门,动力站(双路保障),废水处理站(环保,循环利用)等。生产线主要设备: 外延炉,薄膜设备,光刻机,蚀刻机,离子注入机,扩散炉
2025-03-27 16:38
测试, 光刻机;以及中国的现状; 这篇文章,主要来对上一篇文章的深化。一、 概述开源圈:RSIC-V开源精简指令集cpu设计工具链编译工具链gcc, 仿真工具qemu等unix(linux) 开源操作系统(unix 适配了cpu架构不同)ARM SDT( Software D
2022-01-25 07:28