EUV(极紫外光)光刻机,是目前半导体产业已投入规模生产使用的最先进光刻机类型。近来,有不少消息都指出,EUV光刻机耗电量非常大,甚至它还成为困扰台积电的
2021-02-14 14:05
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
东莞供电局初步探索出“一小时特征电网”的关键要素。2017年,该局首次提出“一小时特征电网”规划理念,首创“一小时特征电网”规划体系,从技术、指标双重保障规划可行性。
2018-04-26 15:12
不会有我们现在的手机、电脑了。 光刻机是用于芯片制造的核心设备,按照用途可以分为用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和
2021-07-07 14:31
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
光刻机是芯片制造的核心设备之一,作为目前世界上最复杂的精密设备之一,其实光刻机除了能用于生产
2020-03-18 11:12
北京,3月30日 ——全球规模最大的自愿环保行动“地球一小时”再创新高,截止3月30日,全球共有147个国家和地区确认参与“地球一小时”,共同宣布为地球可持续发展而行动的决心。
2012-03-31 08:58
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机,有用于LED制造领域的光刻机,还有用于封装的
2022-02-05 16:03
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机,是大规模集成电路生产的核心设备,对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的
2022-07-10 15:28
随着芯片制程工艺的更新迭代,芯片已进入纳米时代,指甲盖大小的芯片上集成的晶体管数量高达百亿。然而芯片制造最大的困难是光刻机
2022-07-05 10:57