产业的基础技术。目前，纳米压印技术在国际半导体蓝图（ITRS）中被列为下一代32nm、22nm和16nm节点光刻
2021-01-03 09:36
、平版印刷、凹版印刷、孔板印刷以及软板印刷等不同形式。古老的印刷术的技巧和思维经过千百年的变化仍然对当代社会产生着重要的影响，古人的思维通过历史的载体体现在了现代科技当中。纳米压印将印刷术在现代电子信息
2023-02-20 15:20
开始就专门针对半导体制造应用。在这些应用中，SFIL 具有作为室温、低压印力方法的优势。因此，SFIL 可以实现多级半导体器件制造所需的精细对准和覆盖控制。2001 年，SFIL 概念获得了
2022-03-30 14:30
在探索微观世界的奥秘中，纳米技术以其独特的尺度和潜力，开启了一扇通往未知领域的大门。纳米压印
2024-08-26 10:05
纳米压印是微纳工艺中最具发展潜力的第三代光刻工艺，是最有希望取代极紫外光的新一代工艺。最近，海力士公司从佳能购买了一套奈米压印机，进行了大规模生产，并取得了不错的效果。
2023-11-08 14:34
在过去几十年的发展中，纳米加工技术促进了集成电路的迅速发展，实现了器件的高集成度，纳米加工
2021-07-16 15:54
纳米压印技术，即Nanoimprint Lithography（NIL），是一种新型的微纳加工技术。该技术将设计并制作
2023-05-19 09:37
在今年慕尼黑光博会举办的3D人脸识别大会上，3D光学器件厂商均拿出了自己的光学解决方案，无论是采用散斑结构光方案，还是i-TOF、d-TOF方案，其核心光学器件DOE和Diffuser的制造都是采用
2021-05-06 15:41
随着 纳米加工 技术的发展,纳米结构器件必将成为将来的集成电路的基础. 本文介绍了几种用电子束光刻、反应离子刻蚀方法制备
2011-06-20 16:16
日本最寄望于纳米压印光刻技术，并试图靠它再次逆袭，日经新闻网也称，对比EUV光刻工艺，使用纳米压印光刻工艺制造芯片，能够
2023-03-22 10:20
