System)技术的蓬勃发展开辟了一个全新的领域和产业,实现了MEMS器件的批量生产与制备。采用该技术制造的硅基热电堆红外传感器在体积、价格和性能各方面都取得了明显的优势,从而推动了MEMS
2023-10-26 09:47
热电堆是一种热释红外线传感器,它是由热电偶构成的一种器件。由两个或多个热电偶串接组成,各
2020-03-09 14:43
本文实现了一种正面开口的热电堆结构,采用XeF2作为工作气体干法刻蚀工艺释放器件。相对于刻蚀硅,XeF2气体对铝等材料的刻蚀速率极小,这样就可以采用标准CMOS工艺中最常用的材料
2012-05-02 17:26
迈来芯(Melexis)利用热电堆技术将远红外热传感器小型化,并降低成本,与微测辐射热计技术展开竞争。随着消费类市场的蓬勃发展,对远红外热传感器的数量和集成度有了更高要
2019-10-15 14:54
采用低噪声放大器ADA4528-1作为缓冲的传感器共模电压为200mV,因此NTC和热电堆信号输出满足ADuCM360缓冲模式输入的要求:ADuCM360 ADC缓冲模式输入为AGND + 0.1
2018-04-10 17:27
热电堆传感器由通常串联(或偶尔并联)的大量热电偶组成。串联热电偶的输出电压取决于热电偶结与基准结之间的温度差。该原理称为
2019-01-24 14:26
红外辐射温度计的工作原理是基于四次方定律,通过检测物体辐射的红外线的能量,推知物体的辐射温度。在红外热辐射温度传感器中,作为测量元件的热电
2019-05-22 09:17
热电池是一种热激活的一次储备电池。一般是将由若干单体电池串、并联在一起与加热片组成的电堆,放入组合壳内,电堆通过引流条与电池盖上的接线柱连接,整个电池由电堆、激活机构、
2018-02-07 09:38
远红外热传感器阵列MLX90640的像元尺寸为100微米(μm),采用低成本的硅透镜,设计非常紧凑。MLX90640工作温度范围为:-40°C至85°C,可测量的物体温度范围为:-40°C至300
2019-09-29 15:09