我国成功研制出世界首台分辨力最高紫外超分辨
2018-12-01 09:53
由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目在成都通过验收! 作为项目重要成果之一，中国科学家
2018-12-02 09:39
经过近七年艰苦攻关，“超分辨光刻装备研制”项目通过验收。这意味着，现在中国有了“世界上首台分辨力最高的
2018-12-02 10:46
刚刚研制成功的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备意味着什么？对国内芯片
2018-12-02 09:31
记者２３日从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队自主研制成功紫外纳米压印光刻机。
2016-03-24 08:28
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极
2022-07-10 14:53
国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”11月29日通过验收。该***由中国科学院光
2018-12-02 09:05
总有人说光刻机有什么难的？就算被封锁，凭我们自己的能力还造不出吗？在这里要特地说一下，研制光刻机，可比研制原子弹难多了。
2020-07-02 09:49
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻机生产。那么euv光刻机
2022-07-10 15:28
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
