我国成功研制出世界首台分辨力最高紫外超分辨
2018-12-01 09:53
就是研发NA 0.5的光学镜片，这是EUV光刻机未来进一步提升分辨率的关键，不过高NA的EUV光刻机至少是2025-2030年的事了，还早着呢，光学镜片的进步比电子产品
2020-07-07 14:22
由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目在成都通过验收! 作为项目重要成果之一，中国科学家
2018-12-02 09:39
经过近七年艰苦攻关，“超分辨光刻装备研制”项目通过验收。这意味着，现在中国有了“世界上首台分辨力最高的
2018-12-02 10:46
刚刚研制成功的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备意味着什么？对国内芯片
2018-12-02 09:31
记者２３日从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队自主研制成功紫外纳米压印光刻机。
2016-03-24 08:28
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极
2022-07-10 14:53
！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38
国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”11月29日通过验收。该***由中国科学院光
2018-12-02 09:05
总有人说光刻机有什么难的？就算被封锁，凭我们自己的能力还造不出吗？在这里要特地说一下，研制光刻机，可比研制原子弹难多了。
2020-07-02 09:49
