Borodovsky在采访中表示，另一个可能导致5nm缺陷的因素是现有的EUV光阻剂材料缺乏均匀度。此外，他还表示支持直接电子束写入，因为EUV使用的复杂相移光罩最终将膨胀至目前浸润式光罩价格的8倍。
2018-04-11 15:59
EUV 光刻是以波长为 10-14nm 的极紫外光作为光源的芯片光刻技术，简单来说，就是以极紫外光作“刀”，对芯片上的晶圆进行雕刻，让芯片上的电路变成人们想要的图案。
2022-10-10 11:15
而“荧光导航”的路线是以荧光颜料制作的色带。荧光导航传感器发射经调制的紫外光，荧光色带上的荧光物质会被紫外光激发，发射出波长在可见光光谱范围内（约420 nm 到750 nm）的可见光。
2019-10-29 15:23
本文简单介绍了极紫外光（EUV）掩膜版的相关知识，包括其构造与作用、清洗中的挑战以及相关解决方案。
2024-12-27 09:26
光刻胶是电子领域微细图形加工关键材料之一，是由感光树脂、增感剂和溶剂等主要成分组成的对光敏感的混合液体。在紫外光、深紫外光、电子束、离子束等光照或辐射下，其溶解度发生变化，经适当溶剂处理，溶去可溶性部分，最终得到所需图像。
2019-02-19 09:17
光刻胶按照种类可以分为正性的、负性的。正胶受到紫外光照射的部分在显影时被去除，负胶受到紫外光曝光的地方在显影后被留下。
2024-04-24 11:37
偏振发光异质结同时具有发光、调光和探测光的功能，实现了可见光调制、紫外光探测和蓝色发光偏振操控的多功能集成。下面来了解一下这种新型材料。
2023-12-11 10:15
紫外线杀菌灯实际上是属于一种低压汞灯。低压汞灯是利用较低压汞蒸汽（10-2Pa）被激化而发出紫外光，其发光谱线主要有两条：一条是253.7nm波长；另一条是185nm波长，这两条都是肉眼看不见的紫外线。
2019-03-21 08:54
紫色发光二极管是什么？其实指的就是发出紫色光的二极管，常用于验钞、杀菌、灭蚊等。有的家庭在室内装修的时候就会按一个紫色的二极管灯，主要就是用来消灭蚊虫。不过很多的人有这样的误区就是：认为发出紫色光线的就是紫外光，其实这种认识是错误的。
2020-01-27 16:15
