微位移定位工作平台在光电子器件或集成电路加工以及生物医学等领域有着极其重要的作用。运用压电叠堆设计制造的微位移定位工作平台能提供大行程、大力矩、小体积和快速响应的工作特性,但是由于压电材料带来的滞后
2021-08-10 15:40 Aigtek安泰电子 企业号
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2024-05-24 17:02 深圳市汇能远科技有限公司 企业号