电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma, ICP）是一种常用的等离子体源，广泛应用于质谱分析、光谱分析、表面处理等领域。ICP等离子体通过感应耦合方式将射频能量传递给气体，激发成
2024-09-14 17:34
等离子体，英文名称plasma，是物质的第四态，其他三态有固态，液态，气态。在半导体领域一般是气体被电离后的状态，又被称为‘电浆’，具有带电性和流动性的特点。
2024-11-05 09:34
等离子体的定义 等离子体是一种由离子、电子和中性粒子组成的电离气体。在这种状态下，物质的部分或全部原子被电离，即原子核与电子分离，形成了带正电的离子和自由移动的电子。这
2024-11-29 10:06
近年来，等离子体技术的使用范围正在不断扩大。在半导体制造、杀菌消毒、医疗前线等诸多领域，利用等离子体特性的应用不断壮大。CeraPlas® 是TDK 开发的等离子体发生器，与传统产品相比，它可以在紧凑的封装中产生低温
2023-02-27 17:54
等离子体清洗的原理 等离子体是物质的第四态，由离子、电子、自由基和中性粒子组成。等离子体清洗的原理主要基于以下几点： 高活性粒子 ：
2024-11-29 10:03
等离子体，作为物质的第四态，不仅在物理学和工程学领域有着广泛的应用，而且在医疗领域也展现出了巨大的潜力。等离子体技术以其独特的物理和化学特性，为疾病治疗和生物医学研究提供了新的工具和方法。 1.
2024-11-29 10:04
等离子体工艺是干法清洗应用中的重要部分，随着微电子技术的发展，等离子体清洗的优势越来越明显。文章介绍了等离子体清洗的特点和应用，讨论了它的清洗原理和优化设计方法。最后分析了等离
2023-10-18 17:42
在ICP反应室中加入射频偏压系统就可以产生自偏压并控制离子的轰击能量。由于在高密度等离子体中的离子轰击会产生大量的热能，因此必须有一个背面気气冷却系统和静电夹盘控制晶圆的温度。
2023-01-15 14:45
等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存
2010-07-29 11:02
射频等离子体（RF等离子体）是在气流中通过外部施加的射频场形成的。当气体中的原子被电离时（即电子在高能条件下与原子核分离时），就会产生等离子体。这种电离过程可以通过各种方法实现，包括热、电和电磁
2025-01-03 09:14
