AOE刻蚀氧化硅可以,同时这个设备可以刻蚀硅吗?大致的气体配比是怎样的,我这里常规的刻蚀气体都有,但是过去用的ICP,还没有用过AOE刻蚀硅,请哪位大佬指点一下,谢谢。
2022-10-21 07:20
最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅,采用的是ICP系列设备,刻蚀气体使用的是SF6+O2,碳化硅上面没有做任何掩膜,就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但是实际刻
2022-08-31 16:29
本文讨论了3种主要的端面检测方法。
2021-05-28 06:25
买了一批AD8692ARMZ,MSOP-8封装的,批量焊接时,发现8个引脚的端面不上锡。经过仔细观察发现端面呈现黄色或黑色,咨询一下行内专家说是芯片引脚镀了镀层后切割的。 现在质量要求芯片引脚的端面需要上锡50%以
2023-11-22 07:25
买了一批AD8692ARMZ,MSOP-8封装的,批量焊接时,发现8个引脚的端面不上锡。经过仔细观察发现端面呈现黄色或黑色,咨询一下行内专家说是芯片引脚镀了镀层后切割的。现在质量要求芯片引脚的端面需要上锡50%以上,
2018-09-17 15:19
太阳能电池薄膜激光刻蚀机配了台特域冷水机,用的是什么制冷机?
2017-11-25 14:30
光纤准直器的基本原理是,将光纤端面置于准直透镜的焦点处,使光束得到准直,然后在焦点附近轻微调节光纤端面位置,得到所需工作距离,因此准直器的工作距离与光纤头和透镜的间距 L相关。
2019-09-29 10:21
防止静电产生危害的主要措施是什么?压力等级为0MPr的蒸汽,其温度一般是多少?机械密封阻止介质泄漏的主密封端面是由哪些部分组成的?
2021-07-11 06:57
作为洗清和刻蚀气体的三氟化氮广泛应用于电子行业,作为三氟化氮的替代产品碳酰氟已在推广。有这方面需求的可交流。电话***
2011-05-31 16:05
1. 机械应力强,形状稳定;高强度、高绝缘性、高导热率;防腐蚀,结合力强;2. 极好的热循环性能,循环次数可多达5万次,可靠性高;3. 使用温度宽-55℃~850℃;热膨胀系数接近硅,简化功率模块的生产工艺。4. 与PCB板(或IMS基片)一样可刻蚀出各种图形的结构;无污染、无公害;
2019-11-01 09:10