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提要：本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术。主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴
2010-11-11 15:45
针对自由曲面能提升成像光学系统的性能和校正像差的特点，分析了自由曲面在离轴光学系统中的应用优势。光学系统选用视场角为30°×11°、焦距为150 mm、F数为3的Cook-TMA
2023-09-10 09:06
。照明系统是光刻机的重要组成部分，其主要作用是提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。
2023-07-17 11:02
离轴光学系统具有多个显著的优势，主要体现在以下几个方面： 1.更广阔的视场 离轴光学系统通过使用非对称的光学元件，能够显著扩大视场范围，使得观察者可以获得更广阔的视野。
2025-02-12 06:15
智能照明离真正落地还有多远？“目前，有些迷茫。”不少照明厂商在谈到当前照明产业形势时说到。随着终端需求的疲软，照明厂商头
2019-08-02 10:06
技术面临更高要求和挑战，人们提出了浸没式光刻（Immersion Lithography），离轴照明（Off Axis Illumination），移相掩膜（Phase Shift Mask）等各种
2021-04-19 14:21
电子发烧友网站提供《AksIM-2离轴旋转绝对编码器数据表.pdf》资料免费下载
2024-10-31 17:18
智能照明是智能家居范畴的重要组成部分，自苹果iPhone，iPad，及Android手机和平板日益普及后，智能照明离普通消费者的家庭越来越近。
2017-04-20 11:19
离轴应用，单对极磁环，±0.05°绝对角度精度，绝对角度输出，TMR3110、TMR3109、TMR3081角度传感芯片 2024年7月23日消息， 专注于隧道磁阻（TMR）技术的磁传感器制造商江苏
2024-07-23 18:13
