和载流子浓度2.2.2光吸收系数和折射率2.2.1能带结构2.1晶体结构第3章碳化硅晶体生长3.9总结3.8切片及抛光3.7化学气相淀积法生长3C-SiC晶圆3.6溶液
2022-05-09 17:19 深圳市致知行科技有限公司 企业号
碳化硅晶体的生长原理 在自然界中,晶体不胜枚举,其分布及应用都十分广泛。例如日常生活中随处可见的盐、糖、钻石、雪花都是晶体
2024-08-03 18:01
材料的生长和加工难度较大,其特色工艺模块的研究和应用成为了当前碳化硅产业发展的关键。 碳化硅特色工艺模块主要包括以下几个
2024-01-11 17:33
6.1.2n型区的离子注入6.1离子注入第6章碳化硅器件工艺《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》往期内容:6.1.1选择性掺杂技术∈《
2022-01-06 09:17 深圳市致知行科技有限公司 企业号
碳化硅衬底 产业链核心材料,制备难度大碳化硅衬底制备环节主要包括原料合成、碳化硅晶体生长、晶锭加工、晶棒切割、切割片研磨、研磨片抛光、抛光片清洗等环节。
2023-05-09 09:36
碳化硅衬底有诸多缺陷无法直接加工,需要在其上经过外延工艺生长出特定单晶薄膜才能制作芯片晶圆,这层薄膜便是外延层。几乎所有的碳化硅器件均在外延材料上实现,高质量的
2023-12-15 09:45
高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂。中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种,均为六方
2023-02-03 16:11
1.晶体生长基本流程下图为从原材料到抛光晶圆的基本工艺流程:2.单晶硅的生长从液态的熔融硅中生长单晶硅的及基本技术称为直拉法(Czochralski)。半导体工业中超过
2024-12-17 11:48 Piezoman压电侠 企业号