碳化硅工艺流程 目前全球95%以上的半导体元件,都是以第一代半导体材料硅作为基础功能材料,不过随着电动车、5G等新应用兴起,硅基半导体受限硅材料的物理性质,在性能上有不易突破的瓶颈,因此以氮化镓
2023-02-02 17:14
采用碳化硅的器件具有耐高温、耐高压、大功率,还可以提高能量转换效率并减小产品体积等特点。
2023-09-27 10:13
碳化硅器件制造环节与硅基器件的制造工艺流程大体类似,主要包括光刻、清洗、掺杂、蚀刻、成膜、减薄等工艺。不少功率器件制造厂商在硅基制造流程基础上进行产线升级便可满足
2022-10-24 11:12
中游器件制造环节,不少功率器件制造厂商在硅基制造流程基础上进行产线升级便可满足碳化硅器件的制造需求。当然碳化硅材料的特殊性质决定其器件制造中某些工艺需要依靠特定设备进行
2023-10-27 12:45
材料的生长和加工难度较大,其特色工艺模块的研究和应用成为了当前碳化硅产业发展的关键。 碳化硅特色工艺模块主要包括以下几个方面: 注入掺杂 在
2024-01-11 17:33
碳化硅,是一种无机物,化学式为SiC,是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石。在C、N、B等非氧化物
2023-02-03 16:11
圆(前端工艺)。碳化硅晶圆再经过划片封装测试(后段工艺)就变成了我们现在使用的半导体-碳化硅二极管和碳化硅MOS。
2023-02-21 10:04
全球碳化硅产业呈现明显的行业上下游收购兼并、大厂积极布局的特征。衬底作为碳化硅产业链中的核心环节,已成为兵家必争之地。
2023-03-23 10:30
方法可以将碳化硅表面恢复到低于5x1010原子/cm2的清洁度水平。讨论了这些清洗在集成器件工艺流程中的位置以及成本比较。
2022-04-07 14:46