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    碳化硅(SiC)功率器件是一种基于碳化硅半导体材料的电力电子器件,近年来在功率电子领域迅速崭露头角。与传统的硅(Si)功率器件相比,碳化硅器件具有更高的击穿电场、更高的热导率、更高的饱和电子漂移速度以及更高的工作温度

    2024-09-11 10:25

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    使用化学机械抛光(CMP)方法对碳化硅晶片进行了超精密抛光试验,探究了滴液速率、抛光头转 速、抛光压力、抛光时长及晶片吸附方式等工艺参数对晶片表面粗糙度的影响,并对工艺参数进行了优化,最终 得到了表面粗糙度低于0.1

    2023-05-31 10:30

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    2023-12-08 09:49

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    2023-07-10 10:49

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    2023-12-15 09:45

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    2023-11-27 17:48

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    碳化硅具备耐高压、耐高温、高频、抗辐射等优良电气特性,突破硅基半导体材料物理限制,是第三代半导体核心材料。碳化硅材料主要可以制成碳化硅基氮化镓射频器件和碳化硅功率器件。

    2023-08-19 11:45

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    2024-01-09 09:26

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    多晶碳化硅和非晶碳化硅在薄膜沉积方面各具特色。多晶碳化硅以其广泛的衬底适应性、制造优势和多样的沉积技术而著称;而非晶碳化硅则以其极低的沉积温度、良好的化学与机械性能以及

    2025-02-05 13:49

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    碳化硅MOSFET技术是一种半导体技术,它可以用于控制电流和电压,以及检测电阻、电容、电压和电流等参数,以确定电子设备是否正常工作。碳化硅MOSFET技术的关键技术包括结构设计、材料选择、工艺制程、测试技术等。

    2023-02-15 16:19