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  • SiC碳化硅单晶的生长原理

    碳化硅单晶衬底材料(Silicon Carbide Single Crystal Substrate Materials,以下简称SiC衬底)也是晶体材料的一种,属于宽禁带半导体材料,具有耐高压、耐高温、高频、低损耗等优势,是制备大功率电力电子器件以及微波射频器件的基础性材料。

    2023-05-18 09:54

  • 碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势

    摘 要: 碳化硅单晶具有极高的硬度和脆性,传统加工方式已经不能有效地获得具有超高光滑表面的碳化硅晶片。针对碳化硅单晶衬底加工技术,本文综述了碳化硅单晶切片、薄化与抛光工

    2023-01-11 11:05

  • 厚度达100 mm! 碳化硅单晶生长取得新进展

    为了解决难题,联合实验室采用的是提拉式物理气相传输(Pulling Physical Vapor Transport, PPVT)法,成功生长出直径为6英寸(即150 mm)的碳化硅单晶,其厚度突破了100 mm。

    2024-04-29 17:40

  • 碳化硅单晶衬底加工技术的工艺及现状研究

    作为半导体产业中的衬底材料,碳化硅单晶具有优异的热、电性能,在高温、高频、大功率、抗辐射集成电子器件领域有着广泛的应用前景。碳化硅衬底加工精度直接影响器件性能,因此外延应用对碳化硅晶片表面质量的要求

    2022-10-11 16:01

  • 碳化硅单晶衬底的常用检测技术

    碳化硅(SiC)作为第三代半导体材料,因其宽禁带宽度、高击穿电场强度和高热导率等优异性能,在众多高端应用领域表现出色,已成为半导体材料技术的重要发展方向之一。SiC衬底分为导电型和半绝缘型两种,各自适用于不同的外延层和应用场景。

    2024-01-17 09:38

  • 江苏集芯首枚8英寸液相法高质量碳化硅单晶出炉​

    据徐州日报报道,近日,徐州高新区再传捷报—— 江苏集芯先进材料有限公司(以下简称 “江苏集芯”)成功出炉首枚 8 英寸液相法(LPE)高质量碳化硅单晶。经检测,晶体面型、晶型与结晶质量均达到预期目标

    2025-08-05 17:17

  • 液相法碳化硅单晶生长技术研究

    碳化硅具有高热导率、高击穿电场、高饱和电子漂移速度、良好的耐辐射性和化学稳定性、GaN的近晶格常数和热膨胀系数等优势。

    2023-12-18 11:25

  • 晶圆级立方碳化硅单晶生长研究进展

    碳化硅(SiC)具有宽带隙、高击穿场强、高饱和电子漂移速率和高热导率等优异性能,在新能源汽车、光伏和5G通讯等领域具有重要的应用。与目前应用广泛的4H-SiC相比,立方SiC(3C-SiC)具有更高

    2024-01-16 09:46

  • 9.4.12 碳化硅单晶∈《集成电路产业全书》

    9.4化合物半导体第9章集成电路专用材料《集成电路产业全书》下册‍‍‍‍‍‍‍‍ADT12寸全自动双轴晶圆切割机详情:切割机(划片机).ADT.823012寸全自动双轴

    2022-01-24 10:09 深圳市致知行科技有限公司 企业号

  • 山东粤海金成功研制出8英寸导电型碳化硅单晶与衬底片

    软包装复合胶粘剂龙头——高盟新材(300200.SZ)在半导体材料领域的投资取得新进展、新成效。

    2024-01-03 10:00