低压化学气相沉积、固相晶化、准分子激光晶化、快速热退火、金属诱导晶化、等离子体增强化学反应气相沉积等是目前用于制备多晶硅薄膜的几种主要方法。它们具有各自不同的制备
2011-10-18 12:04
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术 ，在相对较高气压和较高功率条件下 ，制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料。 材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大 ，通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知 获得了
2017-11-08 10:12
多晶硅薄膜太阳能电池的研制及发展趋势摘 要: 阐述了多晶硅薄膜太阳能电池的结构、特点, 以及多晶硅
2009-11-04 11:57
我们已经使用“种子层概念”在薄膜太阳能电池的玻璃上形成大晶粒多晶硅(多晶硅)膜，该概念基于薄的大晶粒多晶硅模板(种子层)的外延增厚。由于玻璃衬底，所有工艺步骤都被限制在
2022-04-13 15:24
PZT薄膜的制备及特性
2009-10-25 12:28
压电薄膜的制备、结构与应用
2017-10-17 14:16
射频集成化薄膜电感的设计和制备 介绍了一种新型的基于硅IC 模拟电路工艺的射频集成薄膜电感。描述了集成薄膜电感的工作原
2010-02-22 16:27
