抛光的硅片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先，通过切片将单晶硅锭切成圆盘(晶片)，然后进行称为研磨的平整过程，该过程包括使用研磨浆擦洗
2022-04-28 16:32
实验、光学零件的抛光工艺 一。实验目的:1．掌握抛光的基本原理.2．了解镜片抛
2008-09-22 12:40
本文章将对表面组织工艺优化进行研究，多晶硅晶片表面组织化工艺主要分为干法和湿法，其中利用酸或碱性溶液的湿法蚀刻
2022-03-25 16:33
使用化学机械抛光(CMP)方法对碳化硅晶片进行了超精密抛光试验，探究了滴液速率、抛光头转 速、抛光压力、
2023-05-31 10:30
为实现碳化硅晶片的高效低损伤抛光，提高碳化硅抛光的成品率，降低加工成本，对现有的碳化硅化学机械抛光 技术进行了总结和
2024-01-24 09:16
是借助于从单晶硅绽切割出薄的晶片而得到的。在切割之后，对晶片执行研磨工序，以便使之具有均匀的厚度。然后对晶片进行腐蚀以清除损伤并得到光滑的表面。常规半导体
2020-12-29 14:45
摘要 本文介绍了半导体晶片加工中为颗粒去除(清洗)工艺评估而制备的受污染测试晶片老化的实验
2022-03-04 15:03
。化学溶液镜面抛光加工是使用化学溶液对样品进行进行浸泡，去除样品表面氧化皮从而达到光亮的效果。化学抛光加工，快速方便，经济高效，光亮度很好，超过市场同类产品。拉丝是一种
2019-03-15 14:44
抛光硅晶片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先，硅单晶锭被切成圆盘（晶片），然后是一个称为拍打的扁平过程，包括使用磨料清
2023-05-16 10:03
为了评估用各种程序清洗和干燥的晶圆表面的清洁度，我们通过高灵敏度的大气压电离质谱(APIMS)成功地分析了这些晶圆表面的排气量。特别是，通过将晶片表面的解吸气体引入APIMS，研究了IPA蒸汽干燥后
2022-03-10 16:17
