双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法，但由于需要严格的加工条件，很难获得理想的超光滑表面。设计了硅片双面
2010-09-16 15:48
抛光的硅片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先，通过切片将单晶硅锭切成圆盘(晶片)，然后进行称为研磨的平整过程，该过程包括使用研磨浆擦洗
2022-04-28 16:32
实验、光学零件的抛光工艺 一。实验目的:1．掌握抛光的基本原理.2．了解镜片抛
2008-09-22 12:40
本文章将对表面组织工艺优化进行研究，多晶硅晶片表面组织化工艺主要分为干法和湿法，其中利用酸或碱性溶液的湿法蚀刻
2022-03-25 16:33
使用化学机械抛光(CMP)方法对碳化硅晶片进行了超精密抛光试验，探究了滴液速率、抛光头转 速、抛光压力、
2023-05-31 10:30
氮化镓晶片的化学机械抛光工艺综述
2021-07-02 11:23
在加工、运输、检验等等工序时产生的崩边。倒角后的晶圆由于有了一个比较圆滑的边缘，不易再产生崩边，使后面工序加工的合格率大幅提高。在抛光工艺中，如果晶圆不被倒角，晶圆锋利
2019-09-17 16:41
为实现碳化硅晶片的高效低损伤抛光，提高碳化硅抛光的成品率，降低加工成本，对现有的碳化硅化学机械抛光 技术进行了总结和
2024-01-24 09:16
是借助于从单晶硅绽切割出薄的晶片而得到的。在切割之后，对晶片执行研磨工序，以便使之具有均匀的厚度。然后对晶片进行腐蚀以清除损伤并得到光滑的表面。常规半导体
2020-12-29 14:45
抛光工艺是指激光切割好钢片后，对钢片表面进行毛刺处理的一个工艺。电解抛光处理后的效果要优于打磨抛光，因此电解
2018-09-22 14:02
