压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、Ｅ形等多种结构。目前，压阻式压力传感器的精度可达０
2018-10-30 16:04
第七章硅压力传感器的微机械加工第一节概况第二节湿化学腐蚀第三节各向异性腐蚀过程计算机模拟第四节压力传感器的
2010-04-16 15:13
压力传感器所属压力传感器中最常用的一种，在工业、电子、化工、医疗、军用、石油等领域中都有一定的应用。压力传感器的种类是非常多的，可以分为压阻式压力传感器、陶瓷
2016-04-27 16:29
`高温型钛/硅压力传感器产品概述高温型钛/硅压力传感器是用硅-蓝宝石半导体敏感元件制造的
2013-07-03 15:33
，量程比、总线类型等，依赖变送器的结构设计、机械加工工艺水平和结构材料。压力变送器的稳定性和高精度则主要由压力传感器的稳定性和测量精度保证。与
2018-11-07 11:01
绝压真空压力传感器，气体压力传感器绝压真空压力传感器，气体压力传感器绝压真空压力传感器，气体
2014-05-07 10:34
美国汽车传感器权威弗莱明在2000年的汽车电子技术综述就指出了MEMS技术在汽车传感器领域的美好前景。设计了基于MEMS技术和智能化信号调理的扩散硅压力传感器应对汽车
2020-03-18 07:40
，实际证明选择压力传感器的效果非常好。压力传感器利用机械设备的加工技术将一些元件以及信号调节器等装置安装在一块很小的芯片
2018-11-08 16:18
Systems，微机电系统)传感器最早则是在80年代初，开始的硅微机械系统加工技术和绝缘体上
2022-04-06 14:34
、动力机械、生物医学、气象、地质以及地震测量等领域中， 成为当今发展高新技术装备不可缺少的电子产品。而硅压阻式压力传感器的一些参数随环境应力的改变而发生变化， 为了使产品在使用过程中的可靠性有保障， 尽早
2018-11-05 15:37
