随着波导材料的研究和进展,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,就光波导
2009-06-24 10:23
硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点,特别适合于在特殊环境中的应用。简要介绍了全反射光波导和抗共振反射
2009-07-09 14:13
压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、Ｅ形等多种结构。目前，压阻式压力传感器的精度可达０
2018-10-30 16:04
第七章硅压力传感器的微机械加工第一节概况第二节湿化学腐蚀第三节各向异性腐蚀过程计算机模拟第四节压力传感器的
2010-04-16 15:13
`高温型钛/硅压力传感器产品概述高温型钛/硅压力传感器是用硅-蓝宝石半导体敏感元件制造的
2013-07-03 15:33
目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的
2016-10-27 11:50
压力传感器所属压力传感器中最常用的一种，在工业、电子、化工、医疗、军用、石油等领域中都有一定的应用。压力传感器的种类是非常多的，可以分为压阻式压力传感器、陶瓷
2016-04-27 16:29
在同一切硅材料上进行各向异性微加工就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅压力传感器。这里给出了扩散硅
2011-12-21 16:22
美国汽车传感器权威弗莱明在2000年的汽车电子技术综述就指出了MEMS技术在汽车传感器领域的美好前景。设计了基于MEMS技术和智能化信号调理的扩散硅压力传感器应对汽车
2020-03-18 07:40
