采用直流磁控反应溅射法,在Si(100),Al/Si(100)和Pt/Ti/Si(100)等多种衬底上制备了用于MEMS器件的AlN薄膜.用XRD和AES对薄膜的结构和
2011-06-24 16:31
介绍了非晶硅薄膜太阳能电池和支撑设备的技术发展现状和市场情况，针对我国薄膜太阳能电池产业的需求情况，探讨了发展薄膜太阳能
2017-11-12 11:13
锂电池硅基负极极片该如何制备呢？KarkarZ等人研究了硅电极的制备工艺。
2018-08-07 15:52
低压化学气相沉积、固相晶化、准分子激光晶化、快速热退火、金属诱导晶化、等离子体增强化学反应气相沉积等是目前用于制备多晶硅薄膜的几种主要方法。它们具有各自不同的制备
2011-10-18 12:04
上海微系统所异质集成XOI课题组孵化的上海新硅聚合半导体有限公司（简称：新硅聚合）近期实现了6英寸的光学级硅基高均匀性铌酸锂薄膜
2023-06-09 09:43
硅基薄膜太阳电池新进展 一.引言
2009-12-28 09:35
产生的差异做了分析，同时对两种组件产品在发电输出上做了数据比较。根据分析结果和实例可以看出，晶硅组件和双结硅基
2018-01-24 11:42
硅基氮化镓是一个正在走向成熟的颠覆性半导体技术，硅基氮化镓技术是一种将氮
2023-02-06 16:44
我们已经使用“种子层概念”在薄膜太阳能电池的玻璃上形成大晶粒多晶硅(多晶硅)膜，该概念基于薄的大晶粒多晶硅模板(种子层)的外延增厚。由于玻璃衬底，所有工艺步骤都被限制在
2022-04-13 15:24
硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究_孟祥
2017-03-19 11:41
