硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点,特别适合于在特殊环境中的应用。简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的
2009-07-09 14:13
硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究_孟祥
2017-03-19 11:41
硅基AM_OLED高清微显示器像素驱动电路的研究_冉峰
2017-03-19 11:30
太阳能电池是缓解环境危机和能源危机一条新的出路，本文介绍了硅基太阳能电池的原理，综述了硅基太阳电池的优点与不足，以及硅
2017-09-28 17:30
随着器件结构与制作工艺的不新创新与完善。硅基发光器件已经可以实现室温下的有效工作，外量子效率可达到0.1%：低功耗的硅基高速调制器件的调制速率达到1GHZ以上;而
2017-09-30 10:08
一种新型硅基恒流二极管的特性研究_柴彦科
2017-01-07 22:23
针对引信设计中的天线小型化问题，设计了一种易于与集成电路集成的硅基层叠式微带贴片天线．该天线的设计结合ＭＥＭＳ工艺，通过在硅介质中增加空气腔结构和改变同轴线内导体
2011-06-10 17:25
采用直流磁控反应溅射法,在Si(100),Al/Si(100)和Pt/Ti/Si(100)等多种衬底上制备了用于MEMS器件的AlN薄膜.用XRD和AES对薄膜的结构和组分进行了分析,通过优化工艺参数,得到了提高薄膜择优取向的
2011-06-24 16:31
在国内外湿度传感器研究的基础上，基于Ｓｉ ＣＭＯＳ 工艺研制出了以聚酰亚胺（ＰＩ）为感湿介质的电容型相对湿度传感器。并对其结构进行了理论分析，仔细确定了湿度传感器
2009-11-23 11:12
利用外延片焊接技术,把Si(111)衬底上生长的GaN蓝光LED外延材料压焊到新的Si衬底上.在去除原Si衬底和外延材料中缓冲层后,制备了垂直结构GaN蓝光LED.与外延材料未转移的同侧结构相比,转移
2011-04-14 13:29
